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파운드리 6

PMOS FAB Process Flow 에 대해 이해하기 (Front 공정

수율 개선 업무 및 불량 분석 업무를 진행 하기에 앞서, 신입 사원 들은 FAB Process Flow 에 대해 먼저 학습 하게 된다. 하지만 실제 FAB 에서 사용하는 FAB Process는 취업 준비생들이 먼저 습득 하기엔 조금 무리가 있다고 생각이 되어 진다. 따라서 오늘 포스팅 글은 Active 소자인 NMOSFET의 기본 FAB Process FLow에 대해서 요약을 해보도록 하겠다. 우선 반도체 설계팀에서는 주로 아래와 같은 Schematic 기호를 사용 하게 설계를 진행 한다. 하나의 반도체 Chip에 수백만개의 Active 소자와 (NMOS, PMOS..) Passive 소자(Resistor, Capacitor) 가 직접 되어 있는데, 이렇게 간단한 기호를 사용 하지 않으면 설계 하는데 상..

PCM 항목 중 Threshold voltage 측정 방법

PCM 항목의 정의 반도체 공정을 진행한 Wafer에 형성되는 각종 소자(Tr., 저항, 다이오드, Capacitor등)의 전기적 특성을 측정하여 공정 진행 상태를 판단 할 수 있는DC Parameter를 추출하는 과정을 PCM(Process Controlled Monitor) Parameter 측정이라고 한다. 이를 위해서는 Wafer에서 구현되는 회로를 대변하는 각종 소자들의 적절한 전기적 특성을 추출하기 위한 Test Pattern들을 제작한다. 이번 장에서는 이러한 PCM 측정을 위한 각종 소자들의 Test Pattern 형태 및 측정 Parameter들의 정의와 측정방법에 대하여 정리하였다. Test Pattern (MOSFET)의 구조 아래의 그림은 단면도(a)와 Layout(b)이다. Tra..

반도체 테스트란 ???

반도체 가 설계, FAB공정 진행 되어 고객 에게 전달 되는 과정에서 중요한 부분이 테스트 과정이다. (양질의 칩만 고객에게 전달 되어야 하기 때문에) 테스트 하우스(Test House)란 개별소자(discrete component, discrete device)든 IC(Integrated Circuit, 집적회로)든 반도체 소자(semiconductor device)를 테스트하는 회사를 가리키지만, 현실적으론 IC를 테스트하는 회사이다. 왜냐하면 개별소자는 팹리스 회사(Fabless Company)에서는 다루지 않고, 팹(FAB)을 가지고 있는 회사가 직접 설계하고 생산하는데, 팹을 가지고 있는 회사는 테스트 장비도 보유하고 있기 때문이다. 테스트 하우스의 역할은 IC 생산 Process 단계에서 노란..

반도체 FAB In/FAB Out 이 무엇일까?

과제를 진행 하다 보면 자주 볼 수 있는 용어 중 FAB IN/FAB Out 이란 용어가 있다. 여기서 팹(FAB)이란, 를 의미하는 의 약자로 반도체 소자(semiconductor device)를 만드는 제조라인을 가리키는 말이다. 제조하는 반도체 소자는 개별소자(discrete device)든, 통상적으로 반도체 칩이라고 하는 IC(Integrated Circuit)든 상관없고, 만드는 재료도 실리콘(Si)과 같은 단일 원소 반도체든, 갈륨아사나이드(GaAs) 같은 화합물 반도체든 상관없이, 어쨌든 반도체 물질을 사용하여 반도체 소자를 만드는 제조라인 (Fabrication = FAB) 을 가리킨다. 여기서는 편의상 IC로 설명하겠으나 개별소자의 경우도 마찬가지이다. (개별소자의 경우 팹 회사가 아닌..

수율 개선의 첫 단계 상관성 분석이란 무엇일까?

내가 현업에 들어 오기 전인 학생 때에 반도체 직무 Job Description을 보면 막연하게 최적의 공정 Recipe를 적용 하여 수율 개선 업무를 진행 한다. 라고만 적혀 있었다. 그 때에 나는 현업에 입사 하게 되면 꼭 취업 준비생 이나 내가 아는 후배들에게 관련 내용을 정리 하여 전달 해주겠다는 목표를 세웠다. 어떠한 Data를 비교해 보고, 어떠한 분석 방법으로 내가 개선할 단위 공정 (ex: IMP, PHOTO..)을 설정 하며 공정 Recipe Tuning을 요청 하여, 수율 개선을 할 지 에 대한 방법에 대한 정리 말이다. 그래서 이번 포스팅엔 반도체 회사에서 수율 개선을 할 때에 가장 많이 사용 되는 상관성 분석에 대한 내용을 포스팅 하고자 한다. 상관성 분석이란 ? 상관성 분석이란, ..

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