'수율관리' 태그의 글 목록
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수율관리 2

수율 개선의 첫 단계 상관성 분석이란 무엇일까?

내가 현업에 들어 오기 전인 학생 때에 반도체 직무 Job Description을 보면 막연하게 최적의 공정 Recipe를 적용 하여 수율 개선 업무를 진행 한다. 라고만 적혀 있었다. 그 때에 나는 현업에 입사 하게 되면 꼭 취업 준비생 이나 내가 아는 후배들에게 관련 내용을 정리 하여 전달 해주겠다는 목표를 세웠다. 어떠한 Data를 비교해 보고, 어떠한 분석 방법으로 내가 개선할 단위 공정 (ex: IMP, PHOTO..)을 설정 하며 공정 Recipe Tuning을 요청 하여, 수율 개선을 할 지 에 대한 방법에 대한 정리 말이다. 그래서 이번 포스팅엔 반도체 회사에서 수율 개선을 할 때에 가장 많이 사용 되는 상관성 분석에 대한 내용을 포스팅 하고자 한다. 상관성 분석이란 ? 상관성 분석이란, ..

반도체 공정 진행 중에는 어떤 평가가 진행 될까?

우리는 반도체 IC를 생산 하기 위해 공정 진행 중, 공정 완료 후 여러 가지의 평가를 통하여 IC의 완성도를 높여 나간다. 오늘 포스팅에선 여러 가지의 평가 중에서 공정 진행 중인 각 공정 step 사이에 진행 하는 Inline Monitoring 평가와, IC가 완료 되어 FAB Out 되기 전에 진행 하는 PCM (Process Control Monitoring) 평가에 대해 정리 하려고 한다. Inline Monitoring IC 설계가 완료 된 후에 Photo Mask 제작이 완료 되면, FAB 공정이 시작 되게 된다. 반도체 공정이라고 하는 것은 흔히대학교에서 배우는 8대 공정을 반복 하여 수백 가지의 Step을 통하여 하나의 Mask Layer를 형성하는 형태로 공정이 반복 진행 된다. 쉽게..

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